启石元素4英寸“西永造”金刚石晶圆片测量尺寸

在国家政策的强劲鼓励下，在西永微电子产业园区领导们的热切关怀与大力支持下，启石元素研发团队持续两年刻苦攻关、不懈努力，不断革新技术与改进工艺，最终采用其自主研发的大功率、915MHZ化学气相沉积设备，于2021年10月21日成功研制出第一批直径4英寸（大于10厘米）、厚度约为300微米的“西永造”金刚石晶圆片。

启石元素4英寸“西永造”金刚石晶圆片出炉

该成果的成功研制，标志着公司在大尺寸金刚石衬底的研发征程中取得突破性进展，预示着公司在园区擘画“丰富西永园区半导体新材料集成电路产业配套、加速形成园区集成电路产业链闭环”宏伟蓝图的融入中渐入佳境，该研发成果也将填补国内4英寸级金刚石晶圆片批量化生产的空白。

启石元素将始终秉承夯实自身基础、诚信务实、开拓创新的理念，在未来将持续探索、优化实验室培育金刚石研发制造工艺，在实现企业自身价值的同时，以科技创新助力园区发展，力争在推动我国基础材料变革的宏伟蓝图中增墨添彩。